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低発ガスプレフィルタ(ダスクリーンフィルタ) パネル品 DS-250TB-31-REA-20 610×610×20t

商品コード : 25802710
製造元 : 日本無機株式会社
希望小売価格 : 6,390
価格 : 円(税別)
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低発ガスプレフィルタ(ダスクリーンフィルタ) パネル品 DS-250TB-31-REA-20 610×610×20tの商品詳細

低発ガスプレフィルタ(ダスクリーンフィルタ) パネル品 DS-250TB-31-REA-20 610×610×20t

<特徴>
1.低発ガス :開発した特殊な素材よりフィルタからの発ガスを大幅に低減します。
2.環境に配慮 :難燃剤やアルデヒドを使用せず、環境にも配慮した製品です。
         (難燃剤はJACA法クラス3準拠)

<サイズ>
610mm×610mm×厚20t
 
<特性>
形式 DS-250TB-31H-REA-20
フレーム材質 アルミニウム
ろ材材質 低発ガスろ材
定格風量(m3/min) 56
圧力損失(Pa) 初期 54
最終 196
粒子捕集効率(%)(質量法) 80
再生 ×
難燃性
常時使用温度 60℃以下
使用湿度 95%RH以下
製品質量(kg) 1.4

☆連結の有無を右上のチェックボタンより選択して下さい。
 「連結あり」の場合、下記の図面となります。

 
<ガス特性>
項目 総有機物(ウエハ付着量)
(ng/cm2)*1
ドーパント(ng/cm2)*2
ボロン(B) リン(P)
低発ガス品(DS-250TB) <0.05 <10 <10
一般品 0.40 <10 <10

*1 :WTD-GC-MS、C16換算。ウエハ24時間暴露
*2 :誘導結合プラズマ質分析計(ICP-MS)により分析

連結部の図面です

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