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低発ガスプレフィルタ(ダスクリーンフィルタ) ろ材カット品 DS-250TB-31-M 610×610×20t 1枚

商品コード : 25802710
製造元 : 日本無機株式会社
希望小売価格 : 1,530
価格 : 1,530円(税別)
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低発ガスプレフィルタ(ダスクリーンフィルタ) ろ材カット品 DS-250TB-31-M 610×610×20t 1枚の商品詳細

低発ガスプレフィルタ(ダスクリーンフィルタ) ろ材カット品 DS-250TB-31-M 610×610×20t 1枚

<特徴>
1.低発ガス :開発した特殊な素材よりフィルタからの発ガスを大幅に低減します。
2.環境に配慮 :難燃剤やアルデヒドを使用せず、環境にも配慮した製品です。
         (難燃剤はJACA法クラス3準拠)

<サイズ>
610mm×610mm×厚20t

<枚数>
1枚
 
<特性>
形式 DS-250TB
材質 低発ガスろ材
(有機繊維製不織布)
厚さ(mm) 20
風速(m/s) 2.5
圧力損失(Pa) 初期 54
最終 196
粒子捕集効率(%)(質量法) 80
再生 ×
難燃性
常時使用温度 60℃以下
使用湿度 95%RH以下
 
<ガス特性>
項目 総有機物(ウエハ付着量)
(ng/cm2)*1
ドーパント(ng/cm2)*2
ボロン(B) リン(P)
低発ガス品(DS-250TB) <0.05 <10 <10
一般品 0.40 <10 <10

*1 :WTD-GC-MS、C16換算。ウエハ24時間暴露
*2 :誘導結合プラズマ質分析計(ICP-MS)により分析